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一、工程類別 1.特殊氣體管路保溫、加熱工程規劃設計施工 2.特殊氣體鋼瓶Heater Jacket 3.自動控制相關設計製造 4.機台一次及二次機台配電 5.PLC&人機介面圖控編輯 6.氣體偵測規畫設計施工 二、材料買賣 1.真空配管材料、真空球閥 2.特殊塑材管(PFA、FEP、PU、PE、NYLON、TUBE) 3.自調式加熱帶&矽膠加熱帶&Heater Jack&矽膠電熱片 4.保溫材料（矽膠發泡管(板) 、發泡管(板)） 5.自動控制相關材料、電熱材料＆Sensor 6.標準及客製化、VITON O-ring、高氟化O-ring、全氟化O-ring 7.MPC Welded Welded Bellows & lift pin 8.油封 9.半導體工業儀表接頭、Union 10.空心軸承 11.光罩盒 12.車銑零件加工 三、設備開發類別 1.HOT N2 System 2.特殊氣體供應設備VMB&G/M&G/C&BSGS 3.特殊氣體混氣設備 4.機台及相關設備改造 5.Heater Control System
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